一、半導體行業(yè)雙溫區(qū)充氮潔凈烤箱主要技術參數
1.內膽尺寸:(寬650*高500*深500mm)*2,上下兩個溫區(qū),溫度互不影響;
2.外形尺寸:寬1540*高1600*深850mm;
3.溫度范圍:室溫~+270℃;
4.溫度波動度:±1℃;
5.爐內溫差:±1℃(空載、恒溫狀態(tài));
6.循環(huán)風方式:二面水平運風,≥1200立方/時;
7.總功率:21KW;
二、半導體行業(yè)雙溫區(qū)充氮潔凈烤箱箱體結構特征
1.外殼材料:采用2.0mm厚A3冷板,折彎焊接制作;
2.表面處理:表面打磨、拋光,整機外殼高溫靜電噴塑處理(RAL7035),設備滿足10K級無塵車間使用;
3.內膽材料:采用1.5mm厚SUS304鏡面不銹鋼板制作,機身內部全部氬焊滿焊處理,成全密閉空間,專業(yè)板金施工,不銹鋼表面決無括傷且明亮如鏡,美觀不積塵。
三、半導體行業(yè)雙溫區(qū)充氮潔凈烤箱培訓
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